硅烷流量对硅烷热CVD法制备纳米硅粉的影响

汪新颜; 金达莱; 马照军; 王勇; 姚奎鸿

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硅烷流量对硅烷热CVD法制备纳米硅粉的影响

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纳米硅粉的制备方法很多,但采用硅烷(SiH4)热CVD法制备纳米硅粉较于其它方法有很多优势。文章研究了在特定的温度和压力下硅烷流量对硅粉制备的影响,并对制得的硅粉进行XRD、SEM和粒径分析表征,从而获得硅烷热CVD法制备硅粉一些关于硅烷流量等关键控制参数,为该法多参数优化控制以及将来的大规模工业应用做准备。

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来源
《浙江理工大学学报：自然科学版》 |2007年第5期|545-548|共4页
作者
汪新颜; 金达莱; 马照军; 王勇; 姚奎鸿;
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作者单位

浙江理工大学材料工程中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
硅烷; 热CVD; 流量; 硅粉;

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