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微波CVD法合成金刚石薄膜的生长规律及薄膜品质分析

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摘要

阐述了微波等离子化学气相沉积方法合成金刚石薄膜的生长规律，并对薄膜品质作了分析，指出加强基板预处理，提高工艺参数控制精度是决定薄膜品质的关键因素。

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来源
《郑州纺织工学院学报》 |1999年第3期|44-47|共4页
作者
方莉俐; 方向前;
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作者单位

郑州纺织工学院基础部;

郑州纺织工学院电气系;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类碳C;
关键词
金刚石薄膜; 生长规律; 品质; 微波; CVD法;

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