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王俊沙; 刘莹莹; 李园园;
中原工学院材料与化工学院;
深圳市绎立锐光科技开发有限公司;
金刚石; 熔盐刻蚀; 气相刻蚀; 金属刻蚀; 金属氧化物刻蚀;
机译:H_2 / O_2刻蚀等离子体处理在金刚石表面诱发的刻蚀晶面识别
机译:通过电感耦合等离子体反应离子刻蚀在金刚石表面上快速平滑
机译:电感耦合等离子体反应离子刻蚀(ICP-RIE)的多晶金刚石表面形貌演变
机译:角分辨硬X射线光电子能谱评估金刚石半导体表面的软ICP刻蚀损伤
机译:有机材料等离子体刻蚀的刻蚀轮廓控制与表面反应研究
机译:金刚石车削表面形貌的影响因素及理论模型研究进展
机译:反应离子和等离子体化学刻蚀对金刚石涂层表面形貌影响的研究
机译:金刚石表面沟道FET技术的研究进展,重点研究大信号特性。
机译:表面刻蚀的金刚石颗粒和刻蚀金刚石颗粒的表面的方法
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