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利用Langmuir技术构筑的光抗蚀剂聚合物纳米薄膜的表面微观结构及在光刻蚀方面的应用(Ⅱ):用深紫外诱导的含缩酮共聚物的光刻和光化学反应

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摘要

、除去抗蚀层等工序,可将抗蚀剂图形较好地转移到金薄膜上,得到具有相同分辨率的金属金的转移图形.

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来源
《中州大学学报》|2009年第4期|108-112|共5页
作者
许文俭; 宁建中; 付鸿; 李铁生; 吴养洁;
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作者单位

郑州大学化学系,郑州,450052;

中州大学化工食品学院,郑州,450075;

中州大学化工食品学院,郑州,450075;

郑州大学化学系,郑州,450052;

郑州大学化学系,郑州,450052;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类表面活性物质的化学;薄膜技术;
关键词
光化学; Langmuir-Blodgett(LB)膜; 光分解; 光刻;
入库时间 2023-07-25 16:59:09

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