碲镉汞红外探测器电极接触研究

何斌; 刘明; 宁提; 陈书真; 祁娇娇

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碲镉汞红外探测器电极接触研究

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金属/碲镉汞电极接触是红外焦平面探测器的重要组成部分,对器件的性能与稳定性影响较大。然而在碲镉汞金属化过程中,金属离子能量较高将有可能对碲镉汞表面造成损伤。本文采用了离子束沉积系统生长金属电极,探究了束流、束压以及热处理等条件对碲镉汞红外探测器接触性能的影响。研究表明,碲镉汞在生长电极后表面会受到一定程度的损伤;随着离子能量的升高,对材料表面损伤加剧。在I-V曲线中,电极沉积损伤较大的器件表现出软击穿现象;在热处理后,在一定程度上可以修复电极沉积时能量过大造成的损伤,提高了电极接触性能。

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来源
《激光与红外》 |2022年第1期|71-75|共5页
作者
何斌; 刘明; 宁提; 陈书真; 祁娇娇;
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作者单位

华北光电技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类红外光学材料;
关键词
碲镉汞; 离子束沉积; 电极接触; 热处理;

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