透明衬底透明膜椭偏数据处理分析

肖国辉; 黄佐华; 刘昌宁; 黄妙娜

首页> 中文期刊> 《激光技术》 >透明衬底透明膜椭偏数据处理分析

透明衬底透明膜椭偏数据处理分析

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

为了解决迭代法在反演透明衬底透明膜找偏参量时的出错问题,采用理论与实验相结合的方法,对透明衬底透明膜椭偏数据处理进行了理论分析和实验验证,找到了当薄膜折射率接近衬底折射率时,椭偏数据反演就会出错的原因.据此提出了分段遍寻迭代搜索法,以LABVIEW为开发工具,成功设计和编写了相应的数据处理程序,最后对一些样品进行了实际测量反演并与文献结果作了比较.结果表明,该程序能正确反演透明衬底单层透明膜的参量,并具有反演速度快、精确度可达0.03nm、稳定性好等特点.

著录项

来源
《激光技术》 |2010年第2期|247-249288|共4页
作者
肖国辉; 黄佐华; 刘昌宁; 黄妙娜;
展开▼
作者单位

华南师范大学,物理与电信工程学院,广州,510006;

华南师范大学,物理与电信工程学院,广州,510006;

华南师范大学,物理与电信工程学院,广州,510006;

华南师范大学,物理与电信工程学院,广州,510006;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
测量与计量; 分段迭代法; 透明衬底; 透明膜; 椭偏;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征 [J] . 郭春付 ,张传维 ,李伟奇 . 激光技术 . 2019,第004期
2. 多入射角椭偏法同时测量衬底光学常数和膜参数 [J] . 周庆初 ,徐乃欣 ,石声泰 . 应用科学学报 . 1989,第003期
3. 微波椭偏法测量不透明材料的厚度 [J] . 张亮 ,曹力丹 ,潘永华 . 物理实验 . 2011,第002期
4. 紫外可见吸收光谱仪与椭偏测厚仪联用测量透明光电子薄膜的厚度 [J] . 唐振方 ,叶勤 ,吴奎 . 物理实验 . 2006,第002期
5. 基于模拟退火-蚁群变步长优化算法的椭偏数据反演分析 [J] . 赵明琳 ,吴嘉瑶 ,童荣景 . 江苏科技大学学报（自然科学版） . 2021,第003期
6. 分振幅椭偏法测量系统的数据采集和处理方法研究 [C] . 胡仁义 ,何振江 ,唐紫晶 . 第五届全国信息获取与处理学术会议 . 2007
7. 椭偏光谱学在透明衬底上吸收薄膜厚度及光学常数表征中的应用研究 [A] . 李江 . 2015

透明衬底透明膜椭偏数据处理分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅