激光诱导等离子体加工石英微通道的研究

冯彩玲; 王海旭; 秦水介

首页> 中文期刊> 《激光技术》 >激光诱导等离子体加工石英微通道的研究

激光诱导等离子体加工石英微通道的研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

为了在熔融石英基体内制作出高质量的微通道,分别用调Q的Nd∶ YAG脉冲激光器输出的基频光(1064nm)和经过倍频晶体后的混合光(倍频光为70%,基频光为30%)辐照熔融石英玻璃,通过诱导等离子体加工微通道,并初步分析了基频光与混合光加工产生差别的原因.结果表明,用混合光加工的通道内壁较光滑,加工速度快,所加工的通道最深达8mm.

著录项

来源
《激光技术》 |2010年第4期|433-435451|共4页
作者
冯彩玲; 王海旭; 秦水介;
展开▼
作者单位

贵州大学,贵州省光电子技术及应用重点实验室,贵阳,550025;

贵州大学,贵州省光电子技术及应用重点实验室,贵阳,550025;

贵州大学,贵州省光电子技术及应用重点实验室,贵阳,550025;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类高速流体加工设备及其加工;
关键词
激光技术; 微通道; 激光诱导等离子体; 熔融石英;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 激光诱导等离子体加工石英微通道的损伤模型 [J] . 李世雄 ,白忠臣 ,黄政 . 激光与红外 . 2011,第009期
2. 激光加工的石英微通道用于细胞操纵的研究 [J] . 杨子义 ,秦水介 . 济南大学学报（自然科学版） . 2006,第002期
3. 激光诱导等离子体技术(LIBS)在金薄膜加工微检测中的应用研究 [J] . 袁冬青 ,周明 ,沈坚 . 光谱学与光谱分析 . 2008,第010期
4. 微通道散热器长直微通道的新加工工艺研究 [J] . 杨凯钧 ,左春柽 ,丁发喜 . 吉林化工学院学报 . 2011,第009期
5. 飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究 [J] . 梁德志 ,王敏 ,杜晨林 . 激光技术 . 2017,第002期
6. 石英晶体微天平在矿物加工领域中的应用 [C] . 郭玉 ,寇珏 ,孙体昌 . 2014年全国选矿前沿技术与装备大会 . 2014
7. 激光加工石英微通道过程中热应力的研究 [A] . 严会文 . 2015

激光诱导等离子体加工石英微通道的研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅