皮秒激光加工工艺对微沟槽表面的疏水性研究

李元可; 魏昕; 汪永超; 赵忠伟; 李亮; 张亮

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皮秒激光加工工艺对微沟槽表面的疏水性研究

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摘要

为了研究紫外皮秒激光在均热板基板表面刻蚀微沟槽后,不同激光工艺参数对微沟槽表面疏水性的影响规律,采用Cassie-Baxter模型进行了理论分析,并利用单因素实验法,改变激光扫描速率、激光扫描间距、光斑横向重叠次数进行实验验证。结果表明,降低固-液区域面积占比、宽度或缩短沟槽间距,均可以提升微沟槽表面的疏水性能;造成微沟槽表面疏水的主要原因是其内部的微纳结构以及加工时吸附的疏水性化学基团;当激光扫描速率为125mm/s、激光扫描间距为200μm、光斑横向重叠次数为2次时,紫外皮秒激光刻蚀出的微沟槽表面的疏水性最强。该研究为增强均热板冷凝端的疏水性能、提升其整体循环效率提供了参考。

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来源
《激光技术》 |2022年第3期|301-306|共6页
作者
李元可; 魏昕; 汪永超; 赵忠伟; 李亮; 张亮;
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作者单位

广东工业大学机电工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
激光技术; 激光刻蚀; 皮秒激光; 微沟槽; 疏水性;

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