超高纯铝合金互连线及其溅射靶材

著录项

• 来源
  《轻合金加工技术》 |2011年第7期|56-60|共5页
• 作者

  马晓艺; 陈江波; 黄光杰;

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• 作者单位

  青海大学机械工程学院,青海西宁810016;

  重庆大学材料科学与工程学院,重庆400044;

  重庆大学材料科学与工程学院,重庆400044;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TG146.21;
• 关键词

  超高纯铝合金; 集成电路; 互连线; 溅射; 靶材;