游离磨料线锯切片流体动压效应的数值分析

葛培琪; 桑波

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游离磨料线锯切割技术是目前单晶硅切片的主要加工方法.建立了游离磨料线锯切片过程中流体动压效应的数学模型,并采用有限差分法进行了数值分析,得到了游离磨料线锯切片的流体动压力分布和膜厚.结果表明,当磨粒尺寸较小时,锯丝与晶体间的膜厚大于磨粒尺寸,磨粒悬浮在研磨液中,因此研磨液中磨粒与晶体的碰撞将是材料去除的主要因素.

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来源
《润滑与密封》 |2007年第2期|16-18|共3页
作者
葛培琪; 桑波;
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作者单位

山东大学机械工程学院,山东济南,250061;

山东大学机械工程学院,山东济南,250061;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械摩擦、磨损与润滑;
关键词
游离磨料线锯; 单晶硅切片; 流体动压效应;

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