首页> 中文期刊> 《机械制造与自动化》 >铝过渡层沉积CVD金刚石涂层的研究

铝过渡层沉积CVD金刚石涂层的研究

         

摘要

使用Murakami溶液和王水预处理高钴硬质合金刀片,并用直流磁控溅射(DCS)技术在此硬质合金上溅射铝过渡层,在热丝化学气相沉积(HFCVD)设备里沉积金刚石薄膜;分析了金刚石形核机理,并利用SEM以及Raman等方法表征试样.结果表明:与未溅射过渡层的样品相比,在过渡层上的金刚石形核密度更高,金刚石颗粒尺寸更加细小.%The WC-I0%Co cutting tool material is pre-treated by Murakami solution and aqua regiaj then aluminum( AI) is sputtered on the hard-metal by direct current magnetron sputtering (DCS) technology. Diamond thin films are deposited on the cemented carbide by hot filament chemical vapor deposition (HFCVD) process. The diamond nucleation mechanism on the hard-metal is analyzed. The results show that as compared with uncoated AI interlayer sample, its diamond nucleation density is higher and the diamond grain size is smaller.

著录项

  • 来源
    《机械制造与自动化》 |2012年第3期|27-2942|共4页
  • 作者单位

    南京航空航天大学 抗疲劳制造与表面工程研究所,江苏南京210016;

    南京航空航天大学 抗疲劳制造与表面工程研究所,江苏南京210016;

    南京航空航天大学 抗疲劳制造与表面工程研究所,江苏南京210016;

    南京航空航天大学 抗疲劳制造与表面工程研究所,江苏南京210016;

    南京航空航天大学 抗疲劳制造与表面工程研究所,江苏南京210016;

    南京航空航天大学 抗疲劳制造与表面工程研究所,江苏南京210016;

    南京航空航天大学 抗疲劳制造与表面工程研究所,江苏南京210016;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 涂镀材料;
  • 关键词

    直流磁控溅射技术; 铝中间层; 金刚石薄膜; 高钴硬质合金;

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号