基于MEMS器件的电解微细加工技术的研究

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• 来源
  《机床与液压》 |2008年第11期|25-27,4|共4页
• 作者

  王军;

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• 作者单位

  广东轻工职业技术学院机电工程系,广东广州,510300;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 其他特种加工机具及其加工;
• 关键词

  MEMS器件; 高频振动; 窄脉冲电流; 电解复合微细加工;