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微型机械电子系统的现在与未来

         

摘要

微型机械电子系统是现代物理和高新技术互相融合的先进科技,是21世纪科学技术发展的前沿领域,本文介绍微型机械电子系统的概念,制造与应用及其需要深入研究的科研课题。

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