微流控芯片模具化学蚀刻制造工艺研究

王亚坤; 郭钟宁; 郑文书; 刘祥发

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微流控芯片模具化学蚀刻制造工艺研究

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为制造微流控芯片模具实现微流控芯片的大批量生产,采用三酸型蚀刻液对图案掩膜的P20模具钢进行蚀刻加工.观测蚀刻的微流道形状和尺寸,分析蚀刻深度、流道宽度、蚀刻因子和面粗糙度等随加工时间的变化规律.结果表明加工时间越长,微流道侧壁垂直性越好,蚀刻因子越大,但面粗糙度越差.因为反应产物附着于工件表面,特别是侧壁上,使侧向蚀刻速度低于深度方向蚀刻速度,而蚀刻反应产生热量,使工件反应表面温度升高,蚀刻速度加快,影响表面质量.蚀刻反应中,合理控制掩膜尺寸、加工时间、搅拌速度和反应温度等,才能得到满足要求的微流控芯片模具.

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来源
《机械设计与制造》 |2015年第12期|250-253|共4页
作者
王亚坤; 郭钟宁; 郑文书; 刘祥发;
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作者单位

广东工业大学机电工程学院广东广州 510006;

广东工业大学机电工程学院广东广州 510006;

广东工业大学机电工程学院广东广州 510006;

广东工业大学机电工程学院广东广州 510006;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械制造工艺;金属表面精整;
关键词
化学蚀刻; 微流控芯片; 模具制造; 微流道; 微结构;

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