U型电热微驱动器温度分布方程模型

赵海龙; 王新杰

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cqvip:针对MEMS驱动器提出了一种基于焦耳热效应的多晶硅材料电热驱动方式。根据电热微驱动器的结构特性,建立了用于计算其温度的简化模型;利用傅里叶定律和能量守恒方程导出的导热方程建立并求解得到热臂、冷臂和柔性区上的温度分布方程。最后用ANSYS Multiphysics软件对驱动器进行热-电场耦合分析,结果表明驱动器上温度理论值与仿真结果保持一致,该温度分布方程可用于优化电热微驱动器设计并计算其热膨胀量、驱动位移及力矩。

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来源
《机械与电子》 |2019年第11期|25-29|共5页
作者
赵海龙; 王新杰;
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作者单位

南京理工大学机械工程学院江苏南京210094;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类基础理论;
关键词
MEMS; 微驱动器; U型梁; 温度分布方程;

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