晶圆级热电堆探测器测试技术的研究

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• 来源
  《制造业自动化》 |2015年第18期|1-5|共5页
• 作者

  叶雨欣; 焦斌斌; 孔延梅; 刘瑞文; 陈志强;

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• 作者单位

  中国科学院微电子研究所,北京 100029;

  中国科学院微电子研究所,北京 100029;

  昆山光微电子有限公司,昆山 214028;

  中国科学院微电子研究所,北京 100029;

  东北电力大学自动化工程学院,吉林 132012;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 自动控制、自动控制系统;
• 关键词

  红外测试技术; 热电堆探测器; 晶圆级测试;