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电子行业气源处理方案

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摘要

当今,电子半导体和生物医药等工业领域的产品结构越来越小,对生产环境的洁净度要求越来越高,因此,对质量标准的要求也越来越严格。一颗很小的微粒,就足以导致动态存储芯片的故障。所以使用净化车间,相对洁净的环境以及过滤等级高的压缩空气都是十分必要的。

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来源
《现代制造》 |2008年第35期|71-73|共3页
作者
王雄耀;
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作者单位

费斯托(中国)有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类城市燃气供应;
关键词
电子行业; 气源; 生产环境; 产品结构; 工业领域; 生物医药; 质量标准; 存储芯片;

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