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不同缓冲层对柔性AZO薄膜光电性能的影响

         

摘要

采用中频反应磁控溅射法在柔性PET衬底上分别添加TiO2、SnO2和ZnO等缓冲层,室温沉积了掺杂铝的氧化锌薄膜(AZO)。通过对薄膜Hall性质分析以及紫外–可见光吸收特性分析,研究了不同缓冲层以及反应溅射氩氧比对薄膜性能的影响,获得优化的参数。研究结果表明,添加缓冲层可以有效改善柔性AZO薄膜的电学性质,在SnO2缓冲层上5:1氩氧比下生长的柔性AZO薄膜光电性能提高最为显著,薄膜电阻率大幅降低,可见光区域平均透过率超过85%。

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