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钛酸锶晶体退火过程中氧扩散的有限元分析

         

摘要

针对钛酸锶晶体退火过程中氧原子的扩散问题建立了二维有限元模型,研究了温度、晶体尺寸、退火时间时氧原子扩散状态的影响规律.结果表明:氧在短时间内以大通量从晶体表面扩散,然后以小通量比较稳定地向内部缓慢扩散,温度越高,氧扩散到中心时间越短,在700 K、800 K、900 K条件下退火50 h,氧从晶体表面扩散到中心的时间分别为8h、5h和3h,退火深度分别为1 mm、3mm和退透.

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