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磁控溅射金基合金靶材的制备、应用及发展趋势

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摘要

磁控溅射金基合金镀膜材料以其特有的性能和特点,应用范围越来越广.作为源材料,金基合金靶材的质量对溅射工艺及镀膜性能起着至关重要的作用.主要介绍常用金基合金的种类;金基合金溅射靶材的制备方法及应用现状;高端金基合金溅射靶材制备的技术要求、存在的问题及未来的发展思路.

著录项

来源
《材料导报》 |2014年第5期|16-19|共4页
作者
张勤; 张俊凯; 厉英;
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作者单位

东北大学材料与冶金学院,沈阳 110004;

东北大学材料与冶金学院,沈阳 110004;

东北大学材料与冶金学院,沈阳 110004;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类重有色金属及其合金;
关键词
金基合金; 磁控溅射; 靶材; 技术要求;

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