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FPN的影响因素分析及相关应用

         

摘要

钢笔纳米刻蚀技术(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年来发展起来的一种新型的基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的扫描探针刻蚀技术,具有加工结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境要求低、持续书写等优点.FPN刻蚀过程主要受探针的孔径大小、空气湿度、接触时间、书写速度、墨水的特性等因素影响.在介绍FPN相关原理及影响因素的基础上,综合介绍了包括电化学FPN技术(Electrochemical FPN,EcFPN)和主动控制技术FPN(Active FPN,AFPN)在内的FPN相关技术研究的最新成果及其在生物领域、微电子领域和光学器件方面的相关应用.

著录项

  • 来源
    《材料导报》 |2014年第19期|104-110|共7页
  • 作者

    徐德洋; 王蓬勃; 孙立宁;

  • 作者单位

    苏州大学江苏省先进机器人技术重点实验室,苏州215021;

    苏州大学苏州纳米科技协同创新中心,苏州215021;

    苏州大学江苏省先进机器人技术重点实验室,苏州215021;

    苏州大学苏州纳米科技协同创新中心,苏州215021;

    苏州大学江苏省先进机器人技术重点实验室,苏州215021;

    苏州大学苏州纳米科技协同创新中心,苏州215021;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TH742.9;
  • 关键词

    钢笔纳米刻蚀技术; 原子力显微镜; 电化学FPN技术;

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