Ta_2O_5薄膜制备的研究现状及进展

陈胜龙; 杨建广; 高亮

首页> 中文期刊> 《材料导报》 >Ta_2O_5薄膜制备的研究现状及进展

Ta_2O_5薄膜制备的研究现状及进展

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Ta_2O_5薄膜具有很好的电学性能和光学性能,制备方法种类繁多,如溶胶-凝胶法(Sol-gel)、化学气相沉积法、电子束蒸发技术、溅射法、Ta层阳极氧化或热氧化法、离子辅助沉积法(IBAD)、原子层沉积法(ALD)等.评述了现有各种制备方法的优缺点,综述了Ta_2O_5薄膜各种方法制备的条件、薄膜的功能性质等,并评析了金属有机化合物为前驱体制备性能优良的Ta_2O_5薄膜的前景.

著录项

来源
《材料导报》 |2010年第1期|25-30|共6页
作者
陈胜龙; 杨建广; 高亮;
展开▼
作者单位

中南大学冶金科学与工程学院,长沙,410083;

中南大学冶金科学与工程学院,长沙,410083;

中南大学冶金科学与工程学院,长沙,410083;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
Ta_2O_5; 薄膜; 制备方法;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 铌酸锂薄膜制备的研究现状及进展 [J] . 张澎丽 ,刘技文 ,赵捷 . 天津理工大学学报 . 2006,第004期
2. 脉冲激光沉积Ta_2O_5薄膜的Al/Ta_2O_5/n-Si结构的C-V和DLTS研究 [J] . 张胜坤 ,付正文 ,柯炼 . 自然科学进展：国家重点实验室通讯 . 1998,第3期
3. 乙醇钽化学气相沉积制备Ta_2O_5薄膜研究进展 [J] . 杨声海 ,刘银元 ,邱冠周 . 稀有金属材料与工程 . 2007,第12期
4. 二氧化钒薄膜制备工艺及其在开关器件的应用研究进展 [J] . 王晨 ,王承浩 ,王琦 . 光学仪器 . 2021,第003期
5. 铅卤杂化钙钛矿薄膜制备工艺的研究进展 [J] . 李高财 ,雷林 ,赵一英 . 广东化工 . 2021,第014期
6. 低介电常数无氟聚酰亚胺薄膜制备的研究进展 [C] . JI Ya-ning ,姬亚宁 ,LIU Ye-qiang . 2015年全国绝缘材料与绝缘技术专题研讨会 . 2015
7. 缺血性进展性脑卒中的诊治现状及新进展 [A] . 杨凡 . 2010

Ta_2O_5薄膜制备的研究现状及进展

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅