介质阻挡放电等离子体及其在材料制备中的应用

杨小平; 戴乐阳; 曾美琴; 欧阳柳章

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介质阻挡放电等离子体（Dielectric barrier discharge plasma,DBDP）是一种在大气压下即可发生的低温等离子体,具有电子浓度大、电子平均能量高的特点,因此,DBDP应用在材料制备中具有独特的优势。综述了DBDP的发展历史、产生机理和基本特征、放电参数及其影响等,重点介绍了DBDP在臭氧发生、有机物合成、薄膜制备、材料表面改性、高能球磨等领域的应用,分析了研究中存在的主要问题及相应的解决方法,以期为相关领域的研究提供参考。

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来源
《材料导报》 |2010年第s1期|320-324|共5页
作者
杨小平; 戴乐阳; 曾美琴; 欧阳柳章;
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作者单位

1. 华南理工大学材料科学与工程学院 2. 集美大学轮机工程学院;

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正文语种 chi
中图分类等离子体物理学;
关键词
介质阻挡放电等离子体; 低温等离子体; 表面改性; 高能球磨;

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