Sol-gel法制备LaNiO3/Bi4Ti3O12异质薄膜及性能研究

黄建坡; 贾建峰; 刘永涛; 胡行

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采用Sol-gel（溶胶-凝胶）法在Si衬底上制备LaNiO3/Bi4Ti3O12（LNO/BTO）叠层薄膜,并研究了不同退火温度下BTO薄膜的生长行为和铁电、介电性能。试验表明,与单晶Si直接作衬底制备的Bi4Ti3O12薄膜相比,引入过渡层LNO降低了Bi4Ti3O12薄膜与衬底的晶格失配度,减少了热应力和外应力,缓解了薄膜龟裂的现象,而且制备出的Ag/BTO/LNO/Si异质薄膜电容具有优良的介电性质。

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来源
《材料导报》 |2010年第s1期|50-52|共3页
作者
黄建坡; 贾建峰; 刘永涛; 胡行;
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作者单位

郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类 TB383.2;
关键词
Bi; 4; Ti; 3; O; 12; 薄膜; Sol-gel法; 铁电性能;

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