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利用溶胶－凝胶(Sol－Gel)法制备p型ZnO薄膜

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利用溶胶—凝胶(Sol-Gel)法制备p型ZnO薄膜，先制备Ga或N共掺杂的ZnO胶体溶液，在预先清洗好的Si片或其他衬底(石英玻璃、蓝宝石等)上滴加胶体溶液，以旋转衬底的方式使胶体溶液均匀涂覆，然后将薄膜在室温～100℃下放置一段时间再经过240-300℃的热处理，尔后在500～900℃，氨气气氛下热处理1～5小时。溶胶-凝胶法制备薄膜材料具有技术简单，低耗费，易于获得大面积的薄膜等优点。

著录项

公开/公告号CN1172353C

专利类型发明授权
公开/公告日2004-10-20

原文格式PDF
申请/专利权人南京大学;
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申请/专利号CN02113083.3
发明设计人修向前;张荣;徐晓峰;郑有炓;顾书林;沈波;江若琏;施毅;韩平;朱顺明;胡立群;
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申请日2002-05-31
分类号H01L21/20;C01G9/02;
代理机构32207 南京知识律师事务所;
代理人陈建和
地址 210093 江苏省南京市汉口路22号
入库时间 2022-08-23 08:56:57

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2009-08-12

专利权的终止(未缴年费专利权终止)

专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2004-10-20

授权

授权
2003-03-26

实质审查的生效

实质审查的生效
2003-01-01

公开

公开
2002-10-09

实质审查的生效

实质审查的生效

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