阳极线性离子源辅助磁控溅射沉积氮化钛薄膜的研究

著录项

• 来源
  《材料导报》 |2010年第10期|29-32|共4页
• 作者

  卢春灿; 聂朝胤; 潘婧; 贾晓芳; 谢红梅; 杨娟;

  展开▼
• 作者单位

  西南大学材料科学与工程学院,重庆,400715;

  西南大学材料科学与工程学院,重庆,400715;

  西南大学材料科学与工程学院,重庆,400715;

  西南大学材料科学与工程学院,重庆,400715;

  西南大学材料科学与工程学院,重庆,400715;

  西南大学材料科学与工程学院,重庆,400715;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类
• 关键词

  阳极线性离子源; 磁控溅射; 低温; 氮化钛; 结合强度;