溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜的工艺研究

李茜琪; 姚雪亮; 王海风

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溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜的工艺研究

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以正硅酸乙酯为前驱体、乙醇为溶剂,通过酸催化,采用溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜,通过正交实验确定最佳工艺方案,并讨论影响SiO2薄膜结构和性质的主要因素,研究了最佳配方SiO2薄膜的表面形貌、光学性能和力学性能等。结果表明,影响光学性能的主要因素是正硅酸乙酯和水;影响显微硬度的主要因素是乙醇;膜层结构为非晶态;薄膜具有增透效果并可提高试样的抗弯强度。

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来源
《材料导报》 |2010年第s2期|72-74|共3页
作者
李茜琪; 姚雪亮; 王海风;
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作者单位

东华大学材料科学与工程学院;

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正文语种 chi
中图分类 TB383.2;
关键词
溶胶-凝胶法; 透过率; 反射率; 显微硬度; 抗弯强度;

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