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多孔氧化铝薄膜的制备

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摘要

研究了多孔氧化铝薄膜的制备工艺以及影响其成孔效果的主要因素。采用分步阳极氧化的方法和适当的工艺步骤获得了孔洞分布均匀、孔径一致且耐水合的多孔氧化膜,此类氧化薄膜在经过后续的特殊处理后可以用于制备湿度传感器和AAO薄膜。

著录项

来源
《材料导报》 |2010年第s2期|69-71|共3页
作者
卢云; 侯应应; 刘俊; 陈大凯; 于大蔚;
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作者单位

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TB383.2;
关键词
阳极氧化; 多孔三氧化二铝薄膜; 影响因素;

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