6H-SiC材料与器件辐照效应的研究进展

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• 来源
  《材料导报》 |2009年第5期|13-16,29|共5页
• 作者

  牟维兵; 龚敏; 杨治美;

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• 作者单位

  四川大学物理学院,成都,610064;

  中物院电子工程研究所,绵阳,621900;

  四川大学物理学院,成都,610064;

  四川大学物理学院,成都,610064;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 表面物理学;
• 关键词

  6H-SiC; 辐照效应; 研究现状; 发展趋势;