难混溶体系Al/Pb金属多层膜的Pb膜微观形貌和生长方式

段林昆; 孙勇; 郭中正; 沈黎

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难混溶体系Al/Pb金属多层膜的Pb膜微观形貌和生长方式

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用磁控溅射法在载玻片上镀制了难混溶体系Al/Pb金属纳米多层膜,考察了调制波长对Pb膜成膜的影响,借用Philip XL370型扫描电子显微镜研究了成膜质量、表面形貌及膜层断面结构形貌,并采用X射线观测了样品中Al、Pb相的存在形式和膜层结构变化.结果表明,当Pb膜达到一定厚度时,可得到均一、致密的难混溶体系Al/Pb金属纳米多层膜.探讨了膜的形成机理,给出了成核过程模型,并进一步修正了传统成膜机制.

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来源
《材料导报》 |2009年第8期|14-17|共4页
作者
段林昆; 孙勇; 郭中正; 沈黎;
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作者单位

昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室,昆明,650093;

昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室,昆明,650093;

昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室,昆明,650093;

昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室,昆明,650093;

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正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
难混溶体系; Al/Pb金属纳米多层膜; 成膜质量; 表面形貌;

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