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刘本锋; 赵青南; 潘震; 冯敏鸽;
武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室,武汉,430070;
陕西科技大学材料科学与工程学院,西安,710021;
纳米硅; 薄膜; 磁控溅射;
机译:非平衡磁控溅射法沉积碳化硅薄膜
机译:反应性直流磁控溅射法制备纳米结构氮化硅薄膜气体传感器
机译:纳米晶金刚石膜的插入和沉积过程中的氢气添加,以改善通过不平衡磁控溅射法沉积的立方氮化硼薄膜的附着力
机译:射频磁控溅射法在铁氟龙衬底上溅射纳米晶硅薄膜的沉积温度依赖性
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:杂化钙钛矿的新型物理气相沉积方法:通过射频磁控溅射法生长MAPbI3薄膜。
机译:催化化学气相沉积法沉积非晶硅和纳米晶硅薄膜的研究
机译:衬底温度和氢稀释比对热线化学气相沉积法生长纳米硅薄膜性能的影响
机译:纳米硅薄膜的沉积方法,纳米硅薄膜和薄膜沉积系统
机译:利用等离子体沉积技术连续沉积纳米晶硅薄膜和多层绝缘层,非易失性存储器件及其形成方法的纳米晶硅层
机译:利用AG纳米颗粒,由相同硅酸甘油酯构成的多晶硅纳米结构和包含多晶硅纳米晶的多晶硅薄膜电池制造多晶硅薄膜纳米结构的方法
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