纳米超硬多层膜研究现状及发展趋势

唐普洪; 宋仁国; 柴国钟; 陈小明

首页> 中文期刊> 《材料导报》 >纳米超硬多层膜研究现状及发展趋势

纳米超硬多层膜研究现状及发展趋势

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

分别从溅射法和蒸发法两个方面评述了近年来纳米多层膜制备工艺的最新进展,在此基础上介绍了脉冲激光沉积(PLD)工艺制备纳米超硬多层膜的新方法.对典型的超硬膜TiN、(Ti,Zr)N、(Ti,Al)N、TiN/SiO2、B1-SiC、TiN/SiN4进行了简单回顾,并对其硬度、残余应力、摩擦磨损和抗氧化性能等方面做了详细的比较.最后,简述了纳米超硬多层膜表征的一般手段,并展望了发展前景.

著录项

来源
《材料导报》 |2008年第2期|18-21|共4页
作者
唐普洪; 宋仁国; 柴国钟; 陈小明;
展开▼
作者单位

浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州,310014;

嘉兴职业技术学院机电与汽车分院,嘉兴,314036;

浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州,310014;

浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州,310014;

浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州,310014;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类工程材料学;
关键词
纳米超硬多层膜; 脉冲激光沉积; 制备; 表征;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 超硬纳米多层膜致硬机理研究 [J] . 杜会静 ,田永君 . 无机材料学报 . 2006,第004期
2. 超硬纳米多层膜和复合膜的研究综述 [J] . 白晓明 ,郑伟涛 ,安涛 . 自然科学进展 . 2005,第001期
3. 纳米多层膜和复合超硬涂层的研究进展 [J] . 郑伟涛 ,白晓明 ,安涛 . 吉林师范大学学报（自然科学版） . 2004,第002期
4. 力学探针两步压入法研究(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的超硬效应 [J] . 田家万 ,韩增虎 ,虞晓江 . 材料工程 . 2002,第006期
5. 超硬纳米多层膜的材料选择与结构设计 [J] . 赵彦辉 ,肖金泉 ,林国强 . 机械工程材料 . 2010,第010期
6. VN/SiO2纳米多层膜的微结构特征与超硬效应 [C] . 赵文济 ,岳建岭 ,乌晓燕 . 2006年全国电子显微学会议 . 2006
7. 若干超硬纳米多层膜界面结构及力学特性的第一性原理研究 [A] . 林子竣 . 2017

纳米超硬多层膜研究现状及发展趋势

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅