脉冲激光沉积（PLD）法生长纳米ZnO薄膜的探索

仇旭升; 谢可可; 孔明光; 汪壮兵; 刘炳龙; 马渊明; 章伟; 梁齐

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在Si衬底上用脉冲激光沉积法生长C轴取向高度一致的ZnO纳米薄膜。实验制备ZnO纳米结构,其颗粒尺寸的控制是关键。通过改变衬底温度（400～700℃）和沉积时间,获得不同的ZnO纳米结构。SEM观察,在600℃时颗粒均匀且间隔明显,且该薄膜结构为不连续膜,这与其他衬底温度下所形成的薄膜结构有很大差异。XRD显示,600～700℃结晶良好。

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来源
《材料导报》 |2008年第s1期|72-74|共3页
作者
仇旭升; 谢可可; 孔明光; 汪壮兵; 刘炳龙; 马渊明; 章伟; 梁齐;
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作者单位

1. 合肥工业大学理学院 2. 中国科学院合肥固体物理研究所材料物理重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
纳米薄膜; PLD; XRD;

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