p型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的研究进展

李军; 兰伟; 张铭; 董国波; 严辉

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p型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的研究进展

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透明导电氧化物(TCO)的出现开拓了光电子器件研究的新领域.但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体(TOS)相关器件的开发与应用.CuAlO2作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点.介绍了p型TCO的研究现状,综述了不同制备方法制备p型CuAlO2薄膜的研究进展,以及在器件方面的应用,并对其前景进行了展望.

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来源
《材料导报》 |2007年第3期|115-118|共4页
作者
李军; 兰伟; 张铭; 董国波; 严辉;
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作者单位

北京工业大学材料学院薄膜实验室,北京,100022;

北京工业大学材料学院薄膜实验室,北京,100022;

北京工业大学材料学院薄膜实验室,北京,100022;

北京工业大学材料学院薄膜实验室,北京,100022;

北京工业大学材料学院薄膜实验室,北京,100022;

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正文语种 chi
中图分类化学;
关键词
透明导电氧化物(TCO); p型TCO; CuAlO2薄膜;

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