重构表面上Si薄膜生长的模拟研究

王全彪; 杨瑞东; 王茺; 杨宇

首页> 中文期刊> 《材料导报》 >重构表面上Si薄膜生长的模拟研究

重构表面上Si薄膜生长的模拟研究

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

建立了Si(100)-(2×1)表面上Si薄膜生长的Kinetic Monte Carlo(KMC)模型,并对薄膜生长的初始阶段进行了研究.结果表明:在一定的入射率下存在一最佳成岛温度,该温度随入射率的增大而升高,并满足函数关系T=T0+bln(F+c).

著录项

来源
《材料导报》 |2007年第z2期|37-3844|共2页
作者
王全彪; 杨瑞东; 王茺; 杨宇;
展开▼
作者单位

云南大学;

云南大学;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类工程材料学;
关键词
Si薄膜生长; 动力学蒙特卡罗; 岛密度; 成岛温度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Si(100)-(2×1)表面上Si薄膜生长的模拟 [J] . 王全彪 ,杨瑞东 ,杨宇 . 功能材料与器件学报 . 2007,第4期
2. 真空热沉积过程中有机薄膜生长的模拟研究 [J] . 胡琛 ,杨刚 ,陈文彬 . 功能材料 . 2010,第0z3期
3. 真空热沉积过程中有机薄膜生长的模拟研究 [J] . 胡琛 ,杨刚 ,陈文彬 . 功能材料 . 2010,第A03期
4. 非均匀基底薄膜生长的Monte Carlo模拟研究 [J] . 宋超群 ,井西利 ,段玉华 . 高师理科学刊 . 2009,第001期
5. 钛酸钡薄膜生长初期粒子形态及其反应机理的模拟研究 [J] . 王婷霞 ,杨春 ,黄平 . 无机化学学报 . 2009,第008期
6. 重构表面上Si薄膜生长的模拟研究 [C] . 王全彪 ,红河学院物理系 ,杨瑞东 . 2007高技术新材料产业发展研讨会 . 2007
7. (001)和(110)表面上薄膜生长特性的研究 [A] . 陈丹丹 . 2008

1. 一种利用Si或SiC晶体薄膜生长的氯基CVD制程尾气制备氯甲烷的方法 [P] . 中国专利： CN112661598A . 2021-04-16

2. 原子层蚀刻3D结构：水平和竖直表面上Si和SiGe和Ge平滑度 [P] . 中国专利： CN107068556B . 2021.01.01

3. POLY-CRYSTAL SILICON CARBIDE THIN FILM GROWING METHOD BY AN IN-SITU DOPING CAPABLE OF CONTROLLING THE SENSITIVITY, THE RESOLUTION AND THE RESPONSE SPEED OF A SI-MEMS BASED ON A SIC THIN FILM [P] . 外国专利： KR20100011616A . 2010-02-03

机译：基于SIC薄膜的原位掺杂能够控制SI-MEMS的灵敏度，分辨率和响应速度的多晶碳化硅薄膜生长方法

4. METHOD FOR RECONSTRUCTING IMAGE FROM SINOGRAM AND COMPUTER READABLE MEDIUM FOR STORING COMPUTER PROGRAM COMMANDS TO PERFORM THE METHOD AND APPARATUS FOR RECONSTRUCTING IMAGE FROM SINOGRAM [P] . 外国专利： JP2007244871A . 2007-09-27

机译：从sinogram重构图像的方法和计算机可读介质，以存储计算机程序命令以执行从sinogram重构图像的方法和装置

5. Composition for treating metallic surfaces, passivadora layer on a metal surface, surface, a process for forming a passivadora layer on a metal surface, the use of a composition, system on a metal surface, and process for forming a system of liners Imento [P] . 外国专利： BRPI0407625B1 . 2013-07-09

机译：用于处理金属表面的组合物，金属表面上的Passivadora层，表面，在金属表面上形成Passivadora层的方法，组合物的用途，在金属表面上的体系以及形成衬里系统的方法Imento

相关主题

重构表面上Si薄膜生长的模拟研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅