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APCVD法沉积温度对TiO2薄膜结构的影响

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摘要

利用APCVD方法在浮法玻璃表面沉积了TiO2薄膜,并用XRD和AFM分别研究了不同沉积温度下薄膜的晶型结构以及表面形貌。结果表明,随着沉积温度的升高,薄膜的晶型逐渐由无定形态转变为锐钛矿和金红石,薄膜的表面平均粗糙度逐渐变大。

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来源
《材料导报》 |2006年第s1期|82-84|共3页
作者
庞世红; 王承遇; 李西平; 刘静维; 唐艳玲;
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作者单位

1. 大连轻工业学院玻璃及无机新材料研究所 2. 秦皇岛耀华玻璃股份有限公司 3. 秦皇岛冶金设计研究总院;

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正文语种 chi
中图分类 O614.411;
关键词
APCVD; TiO2; 晶型转变; 浮法玻璃;

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