新型箔式锰铜超高压力传感器

崔红玲; 杨邦朝; 杜晓松; 周鸿仁; 滕林

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新型箔式锰铜超高压力传感器

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为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限,须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层.用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层,代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜,从根本上消除高压旁路效应,提高传感器的测压上限.初步的动态超高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为54.55GPa,压阻系数为0.0237GPa-1,延续时间可达1.6μs.

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来源
《材料导报》 |2005年第z2期|464-465|共2页
作者
崔红玲; 杨邦朝; 杜晓松; 周鸿仁; 滕林;
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作者单位

电子科技大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
箔式锰铜传感器; Al2O3薄膜; 动态高压测试;

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