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工艺因素对碳热还原法合成SiC的影响

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摘要

介绍了碳热还原法合成SiC的反应机理，综述了影响碳热还原法合成SiC的工艺因素，分析并比较了反应温度、碳源及配C量、原料组成和粒度、Ar流量和CO分压以及添加剂等因素对反应速率、产率及相组成的影响。

著录项

来源
《材料导报》 |2005年第F05期|P.366-368,381|共4页
作者
张淑会; 薛向欣; 杨合; 刘欣;
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作者单位

东北大学材料与冶金学院,沈阳110004;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TQ174.758;
关键词
碳热还原法; 反应机理; SiC影响因素;

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