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SILAR法制备无机化合物薄膜

         

摘要

介绍了一种新的液相法薄膜制备工艺-SILAR法(连续离子层吸附反应法),该方法设备简单,成本低廉,成膜质量好.解释了它的非均相薄膜生长机理,对它的工艺参数影响以及研究应用情况进行了综合评述.指出了研究发展前景.

著录项

  • 来源
    《材料导报》 |2003年第3期|66-68|共3页
  • 作者单位

    先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津大学材料学院,天津,300072;

    先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津大学材料学院,天津,300072;

    先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津大学材料学院,天津,300072;

    先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津大学材料学院,天津,300072;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜技术;
  • 关键词

    SILAR法 无机化合物 薄膜制备;

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