薄膜沉积机理的计算机模拟应用和发展

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• 来源
  《材料导报》 |2003年第F09期|P.154-157|共4页
• 作者

  宋鹏; 陆建生; 瑚琦; 赵明娟; 杨滨;

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• 作者单位

  昆明贵金属研究所;

  昆明650221;

  昆明理工大学材料与冶金工程学院;

  昆明650093;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 TN304.055;
• 关键词

  薄膜技术; 沉积机理; 计算机模拟技术; 物理气相沉积; 化学气相沉积; PVD; CVD;