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陈玉峰; 唐婕;
高性能陶瓷及精细工艺实验室;
中国建筑材料科学研究院,北京;
CVD; 显微结构; 气孔分布; 生长机制; SiC薄膜;
机译:MOCVD法和PLD法在陶瓷薄膜制备技术及制备薄膜的晶体结构方面的进展
机译:高生长速率PECVD生长的a-SiC:H薄膜的微观结构分析
机译:SiC涂层丝的HWCVD法低温形成SiC薄膜及其结构评价
机译:远程等离子体CVD法用有机硅制备SiC薄膜
机译:使用MOCVD制备的硫化锌:锰磷光体层的AC薄膜电致发光器件的制备和性能。
机译:脉冲激光沉积制备6H-SiC(0001)衬底上VO2薄膜的增强的相变特性
机译:环共振型微波等离子体CVD制备SiC薄膜
机译:使用设计的有机金属前体CVD法制备siC和alN薄膜
机译:耐NH3的CVD-SiC优异,耐NH3的CVD-SiC涂层材料优异以及CVD或MBE系统用工具
机译:使用CVD方法的CVD SIC SIC结构
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