氮化碳薄膜的X射线衍射分析

吴大维; 何孟兵

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研究了生工在硅片，合金钢片上的氮化碳薄膜的Ｘ射线衍射谱（ＸＲＤ），实验结果表明在硅片上先生长Ｓｉ３Ｎ４过渡层和对样品进行热处理，有利于β－Ｃ３Ｎ４晶体的生成，不同晶面的硅衬底，生长Ｃ３Ｎ４薄膜的晶面不同，合金钢片上Ｃ３Ｎ４薄膜，出现七个β－Ｃ３Ｎ４衍射峰和六个α－Ｃ３Ｎ４衍射峰，这些结果与β－Ｃ３Ｎ４和α－Ｃ３Ｎ４的晶面数据计算值相符合。

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来源
《材料导报》 |1998年第3期|43-45,27|共4页
作者
吴大维; 何孟兵;
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作者单位

武汉大学物理系;

武汉大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
氮化碳薄膜; X射线衍射谱; 晶体生长; 晶体结构;

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