用激光物理气相沉积法制做硬质膜

张荫起

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用激光物理气相沉积法制做硬质膜

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最近,日本的安永畅男等人,着眼于CO_2激光极易被陶瓷材料吸收,而且易使陶瓷材料熔化和蒸发的特点,开发了以CO_2激光为蒸发热源的新激光物理气相沉积法(激光PVD),发现用该方法可以高效率制做均质、致密和高硬度的陶瓷膜。特别是,在激光蒸镀时,用N离子同时照射,或通过兼用激光感应放电,可以形成超硬质的cBN膜和DLC膜(类金刚石碳素膜)。这些膜可以蒸镀在切削刀具和耐磨构件上。

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来源
《材料导报》 |1991年第5期|21-23|共3页
作者
张荫起;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN304.82;
关键词
cBN膜; DLC膜; 激光沉积法; 陶瓷; 制膜;

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