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胡连军; 刘建军; 潘国峰; 曹静伟; 夏荣阳;
河北工业大学电子信息工程学院;
天津市电子材料与器件重点实验室;
北京智芯微电子科技有限公司;
化学机械抛光; 钴; 阻挡层; 互连金属; 电偶腐蚀; 选择性;
机译:过硫酸钾作为化学机械抛光浆料中的氧化剂,其与钴屏障层的铜互连相关
机译:钨钴硬质合金刀片化学机械抛光的化学机理
机译:氮酰基乙酸和腐蚀剂对钴屏障化学机械抛光的影响:实验和密度泛函理论分析
机译:硫酸铵和H 2 inf> O 2 inf>对钴接触块化学机械抛光的影响
机译:用于互连应用的钴薄膜的化学机械抛光
机译:高镍镍钴 - 锰锰锰脂肪末期材料表面的研究进展:迷你评论
机译:钴介导的N-乙烯基酰胺自由基聚合的合成及机理研究进展
机译:过渡金属氧化物上钴的吸附研究进展
机译:具有高钴清除率的钴化学机械抛光方法及降低钴腐蚀
机译:钴化学机械抛光工艺,具有较高的除钴率并减少了钴的腐蚀
机译:高去除钴速度和降低钴腐蚀的钴化学机械抛光工艺
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