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炭/炭复合材料化学气相沉积工艺进展

         

摘要

对多种化学气相沉积工艺进行了分析对比, 指出在炭/炭复合材料的研制与开发中, 以等温等压(ICVD)的工艺为最优. 该工艺能很好地控制工艺参数, 特别是对于装了大量异形件的高炉膛, 所沉积的样件不仅密度均匀而且性能稳定, 虽然其工艺周期较长, 但在实际生产中, 可以通过多料柱的高炉膛来降低成本, 是比较成熟、稳定的生产工艺. 近年来兴起的其他工艺, 主要关注沉积速度和沉积机理, 大多局限于实验室研究, 距工业化大生产还有很大的距离.

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