温度对化学气相沉积碳化硅涂层的影响

卢翠英; 成来飞; 赵春年; 张立同; 徐永东

首页> 中文期刊> 《材料科学与工艺》 >温度对化学气相沉积碳化硅涂层的影响

温度对化学气相沉积碳化硅涂层的影响

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

以三氯甲基硅烷和氢气为气源,研究了化学气相沉积碳化硅过程中,温度(850-1350 ℃)对沉积速率、反应物消耗效应、涂层形貌和相结构的影响.用磁悬浮天平在线实时称量基体质量变化进行动力学研究;采用扫描电镜和X射线衍射对样品做了表征.结果表明,沉积过程存在四个控制机理:a区(＜1000℃)为表面反应动力学控制;b区(1000-1050 ℃)主要是HCl对沉积的抑制作用;c区(1050-1300 ℃)是表面化学反应和传质共同控制;d(＞1300℃)为传质为限速步骤.由于不同的控制机制,导致所得涂层的形貌存在差异.含碳含硅中间物质浓度的减小、HCl增多和MTS的分解共同导致反应物消耗效应.涂层由热解碳和碳化硅两相组成,温度的升高使热解碳相减少,碳硅比接近1.

著录项

来源
《材料科学与工艺》 |2010年第4期|575-578,583|共5页
作者
卢翠英; 成来飞; 赵春年; 张立同; 徐永东;
展开▼
作者单位

西北工业大学,超高温结构复合材料国防科技重点实验室,西安,710072;

榆林学院化工化学系,榆林,719000;

西北工业大学,超高温结构复合材料国防科技重点实验室,西安,710072;

西北工业大学,超高温结构复合材料国防科技重点实验室,西安,710072;

西北工业大学,超高温结构复合材料国防科技重点实验室,西安,710072;

西北工业大学,超高温结构复合材料国防科技重点实验室,西安,710072;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类合成树脂与塑料工业;
关键词
控制机理; 碳化硅; 化学气相沉积;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 化学气相沉积工艺对碳化硅纤维毡热解碳涂层的影响 [J] . 胡燕 ,许然 ,聂磊清 . 南通大学学报（自然科学版） . 2016,第001期
2. 化学气相沉积法从MTS-H2-N2前驱体制备碳化硅涂层 [J] . 贾林涛 ,王梦千 ,朱界 . 陶瓷学报 . 2020,第002期
3. 化学气相沉积碳化硅涂层缺陷形成的机制及控制 [J] . 吴守军 ,成来飞 ,张立同 . 硅酸盐学报 . 2005,第4期
4. 沉积温度及热处理对低压化学气相沉积氮化硅涂层的影响 [J] . 廖春景 ,董绍明 ,靳喜海 . 无机材料学报 . 2019,第011期
5. 退火温度对碳化硅涂层微观结构与形貌的影响 [J] . 王坤 ,王美玲 ,刘锦云 . 西华大学学报（自然科学版） . 2017,第005期
6. 氢气对碳化硅化学气相沉积的影响 [C] . 杨艳 ,尹博文 ,张伟刚 . 第八届全国新型炭材料学术研讨会 . 2007
7. 氯化物化学气相沉积法制备立方碳化硅涂层 [A] . 郑顶恒 . 2017

温度对化学气相沉积碳化硅涂层的影响

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅