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（CH3）2SiCl2和N2H4反应产物裂解逸出气体与粉体组成关系的研究

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采用（ＣＨ３）２ＳｉＣｌ２和Ｎ２Ｈ４反应产物为先驱体，在Ｈ２，ＮＨ３气条件下，用ＣＶＤ法制备Ｓｉ／Ｃ／Ｎ的纳米微粉，在制备Ｓｉ／Ｃ／Ｎ纳米微粉的过程中通过高温炉－气相色谱联用技术分析了裂解逸出的气体，用化学法分析了微粉中元素组成变化，讨论了先驱体Ｈ２，ＮＨ３气体条件下的裂解机理及微粉的形成机理。

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来源
《材料科学与工艺》 |1998年第4期|72-76|共5页
作者
盘毅; 谢凯;
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作者单位

国防科技大学材料工程与应用化学系;

国防科技大学材料工程与应用化学系;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TF123.74;
关键词
裂解; 气相色谱; 肼; 二氯二甲基硅烷; 硅／碳; 微粉;

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