模糊算法在磁控溅射靶电源控制中的应用

姚庆梅; 许夫明; 牟洵; 贾燕

首页> 中文期刊> 《测控技术》 >模糊算法在磁控溅射靶电源控制中的应用

模糊算法在磁控溅射靶电源控制中的应用

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

针对磁控溅射镀膜生产中,靶电源的输出功率存在大时滞、非线性和难以确定其精确数学模型等问题,提出了将PLC技术与模糊算法相结合的控制策略实现靶电源输出功率的模糊智能控制.首先对模糊控制的原理和模糊控制器的设计进行了详细介绍,然后给出了模糊算法在PLC控制上的具体实现方法.在程序的设计上,采用离线计算、在线查表的方法,不仅节省了实际控制中的计算时间,而且使得复杂的模糊控制算法在实际应用中简单明了.最后通过仿真验证了模糊控制策略在靶电源输出功率的控制上达到了良好的效果.

著录项

来源
《测控技术》 |2014年第1期|91-95|共5页
作者
姚庆梅; 许夫明; 牟洵; 贾燕;
展开▼
作者单位

山东建筑大学信息与电气工程学院,山东济南250101;

山东建筑大学信息与电气工程学院,山东济南250101;

山东建筑大学信息与电气工程学院,山东济南250101;

山东建筑大学信息与电气工程学院,山东济南250101;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类程序语言、算法语言;
关键词
磁控溅射; PLC; 模糊控制; 离线计算; 在线查表;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 磁控溅射电源控制算法的优化设计 [J] . 邵桂荣 ,苏世栋 ,杨立 . 长春师范学院学报（自然科学版） . 2012,第003期
2. 磁控溅射电源控制算法的优化设计 [J] . 邵桂荣 ,苏世栋 ,杨立 . 长春师范大学学报 . 2012,第003期
3. 模糊PID算法在极向场电源控制系统中的仿真 [J] . 张明 ,傅鹏 ,刘克富 . 计算机仿真 . 2005,第007期
4. 图形双缓冲和GDI+在多靶磁控溅射系统中的应用 [J] . 陈立宁 ,罗超 ,林伯奇 . 电子工业专用设备 . 2017,第4期
5. 模糊PID在电子束单晶熔炉高压电源控制系统中的应用 [J] . 王言前 . 热加工工艺 . 2006,第24期
6. 综合预计法在多靶连续磁控溅射台可靠性预计中的应用 [C] . 徐家萌 . 中国电子学会电子产品可靠性与质量管理分会第六届学术年会 . 1992
7. 单靶磁控溅射法制备CZTS(Se)薄膜及其在太阳电池中的应用 [A] . 冯嘉 . 2016

模糊算法在磁控溅射靶电源控制中的应用

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅