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硅谐振梁式微传感器同频干扰的研究

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摘要

主要研究了静电激励/电容拾振的谐振梁式微传感器的同频干扰问题及解决的方法,提出了采用梁的二阶振动模态解决同频干扰的方法.

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来源
《测控技术》 |2004年第2期|17-18|共2页
作者
李雪莹; 周浩敏;
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作者单位

北京航空航天大学,自动化学院,北京,100083;

北京航空航天大学,自动化学院,北京,100083;

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正文语种 chi
中图分类 TP212.1;
关键词
同频干扰:二阶振动模态;

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