一种新型的三维测微式测头

梁大巍; 陈永铭

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一种新型的三维测微式测头

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本文提出一种从机械结构到测量原理均为创新的三维测微式测头。在±100μm的测量范围内,双向触测的总体重复精度目前可达到±0.43μm(OPTON三坐标测微式测头的总体重复精度仅为±0.5μm),且随测量范围的减小精度迅速提高。测力小于0.33N;测头体积较小,φ为90mm,高为14mm,使用性能好。

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来源
《计量技术》 |1989年第9期|11-13|共3页
作者
梁大巍; 陈永铭;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类位移测量仪表;
关键词
三维; 微式测头; 位移; 测量;

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